洁净度级别确认(尘埃粒子)

洁净度级别确认

产品类别: 第三方检测认证

产品名称: 洁净度级别确认(尘埃粒子)

使用设备:空气尘埃粒子计数器

一、洁净度级别的定义

洁净室的级别是按其空气洁净度划分的。1963年,发明了单向流理念的圣地亚公司的专家们,在美国军方、政府部门和同行们的支持下撰写了第一个FS 209标准,以0.5μm粒径的悬浮粒子数量作为洁净度级别判定的依据。该标准对洁净室的设计和运行产生了巨大的影响,并成为包括ISO 14644-1在内的诸多国际标准的基础。FS 209在更新至版本E后被ISO 14644-1所取代,但老版本仍被广泛采用。下面是FS 209E和ISO 14644-1:2015的分级示意图:

FS 209E标准
NO等级名称等级限值
0.10.2 0.30.55
容积单位容积单位 容积单位容积单位容积单位
国际单位英制单位ft³ft³ ft³ft³ft³
1M1 3509.9175.7 2.1430.90.875100.283—— ——
2M1.51124035265 7.5106335.31————
3M2 350099.1757 21.43098.751002.83————
4M2.510124003502650 7510603035310————
5M3 350009917570 214309087.5100028.3—— ——
6M3.5100————26500 750106003003530100————
7M4 ————75700 21403090087510000283—— ——
8M4.51000—————— ——————3530010002477
9M5 —————— ——————1000002830618 17.5
10M5.510000—————— ——————353000100002470 70
11M6 —————— ——————1000000283006180 175
12M6.5100000—————— ——————353000010000024700 700
13M7 —————— ——————1000000028300061800 1750

 

ISO 14644-1:2015标准
ISO 等级等于和大于粒径的最大可允许浓度(粒子/m³)
0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm1μm5μm
110——————————
21002410——————
3100023710235————
4100002370102035283——
510000023700102003520832——
61000000237000102000352008320293
7——————352000832002930
8——————352000083200029300
9——————352000008320000293000
二、洁净度检测方法

在洁净度级别的判定和日常检测中,检测人员应确认以下测试参数:

• 最小采样点的个数

• 采样点的位置

• 最少采样体积和采样时间

三、检测周期

• A、B级区域最长检测间隔不应超过6个月;

• C、D级区域最长检测间隔不应超过12个月

四、检测设备

检测所使用的粒子计数器应有有效的校准证明:校准的频率和方法应按ISO 21501-4所述的现行认可规定来执行。