气流流型及流向验证的目的是确认气流流型、方向及其均匀性与设计和性能技术要求相符。

      洁净室中的气流流型分为两大类：单向流（层流）和非单向流（紊流/乱流）。

      气流流向检测方法分为以下四种：

• 示踪线法
• 示踪剂法
• 采用图像处理技术的气流显形检查
• 借助速度分布测量的气流显形检查

      检测周期

• 气流流型的检测周期无明确要求。
• 气流流向（定向流）的最长检测间隔时间不宜超过12个月。